독특한 NOZZLE 설계로 20㎛ 클래스의 미립자를 제거 할 수 있으며 스페이서 비즈의 클러스터 제거에 최적인 제품.
특수한 형태의 노즐에 의해 기재상에 고속 에어를 만들어, 슬롯에 날카로운 엣지 에어가 급커브를 그려 유속을 늘리는 것으로, 공기의 경계층을 얇게 해 미립자를 빨아 드리는 것이 가능합니다.
 
① 고속 AIR에 의하여 우수한 제진 효과를 발휘합니다.
② 설치에 편리한 COMPACT한 설계입니다.
③ 비접촉식이기 때문에 기판의 표면에의 손상을 입히지 않습니다.