VUV-F 패널 클리너는 단면이 Vacuum/Ultrasonic Pressure/Vacuum로 구성된 구조를 채용하고 있습니다.
폐사의 특허인 UV형식에 Vacuum을 추가하여 성능을 더욱 향상시킨 제품입니다.
 
① 드라이 클리너로 3μm의 분진을 100％제거 가능합니다．
② 비 접촉식 이기 때문에 CLEANING면에 손상을 입히지 않습니다.
 
  사내 클린 룸（클래스 100）안에서의 테스트 결과입니다．
3μm의 미립자를 100％제거하고 있습니다．
（토출 공기 압력 14kpa）
테스트 조건
●기재： 액정용 유리 기판（250mm×250mmx1.1t）
●분진： 3μm 스페이서 비즈（드라이 살포）
●반송 속도： 50mm／sec.
●평가 방법： 표면 검사 장치（GI-4600）