VUV-F 패널 클리너는 단면이 Vacuum/Ultrasonic Pressure/Vacuum로 구성된 구조를 채용하고 있습니다.
폐사의 특허인 UV형식에 Vacuum을 추가하여 성능을 더욱 향상시킨 제품입니다.
 
① 드라이 클리너로 3μm의 분진을 100%제거 가능합니다.
② 비 접촉식 이기 때문에 CLEANING면에 손상을 입히지 않습니다.
 
  사내 클린 룸(클래스 100)안에서의 테스트 결과입니다.
3μm의 미립자를 100%제거하고 있습니다.
(토출 공기 압력 14kpa)
테스트 조건
●기재: 액정용 유리 기판(250mm×250mmx1.1t)
●분진: 3μm 스페이서 비즈(드라이 살포)
●반송 속도: 50mm/sec.
●평가 방법: 표면 검사 장치(GI-4600)