세계 최초! 0.4mm의 박판유리, 수지 및 기판의 양면 클리닝에 성공!!
흡착 테이블 불필요의 양면 동시 클리닝 시스템 (CONVEYER TYPE)
본사 CLEAN ROOM에 입회 테스트를 실시하고 있습니다. TEST SAMPLE을 지참하셔서 그 효과를 확인하십시오.
 
① 양면 동시에 클리닝을 행할 수 있는 SYSTEM입니다. 후처리 공정의 장치 오염을 차단합니다.
② 3㎛의 실리카 비즈는 100%제거 합니다.(폐사 CLEAN ROOM 테스트 평가)
③ CLEANER HEAD에 기판의 흡착하고 방지하기 위한 흡착 TABLE이 불필요합니다.
④ 장치 전체로의 비용 절감을 실현합니다.
④ CONVEYER에 유리를 흘려보내는 형식인 만큼 대폭적인 시간 절약이 가능합니다.
1 CLEANER HEAD유효길이
50~3500mm (실적 20~9200)
2 PRESSURE압력
12~14kPa
3 CLEANERHEAD클리어런스
1.0~2.0mm
4 HEPA필터(차압계부)
엘리먼트0.3μm 99.97%
5 PRE필터(차압계부)
25μm
6 flexiblehose
2m×2개
7 전원 3φ 200/220V 50/60Hz